एच उपकरण की मुख्य संरचना

 

मुख्यधारा के नक़्क़ाशी उपकरणों की संरचना को दो भागों में विभाजित किया जा सकता है: मुख्य निकाय और सहायक उपकरण। उनमें से, नक़्क़ाशी उपकरणों के मुख्य निकाय में EFEM (उपकरण का फ्रंट एंड), TM (ट्रांसमिशन मॉड्यूल), PM (प्रोसेस मॉड्यूल), और तीन मॉड्यूल शामिल हैं। EFEM मॉड्यूल मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर कारखाने में विभिन्न हैंडलिंग उपकरणों (वेफ़र लोडर, हैंडलिंग रोबोट और ओवरहेड क्रेन सहित) से नक़्क़ाशी उपकरणों में वेफ़र्स लोड करने के लिए ज़िम्मेदार है; TM मॉड्यूल मुख्य रूप से नक़्क़ाशी उपकरणों के अंदर वेफ़र्स के हस्तांतरण के लिए ज़िम्मेदार है; PM वह मॉड्यूल है जो वास्तव में वेफ़र को नक़्क़ाशी करता है और संबंधित भौतिक रासायनिक प्रतिक्रियाएँ होती हैं। सहायक उपकरण का कार्य उपरोक्त तीन मॉड्यूल के लिए गारंटी समर्थन प्रदान करना है, और लेआउट मशीन के मुख्य शरीर से अपेक्षाकृत स्वतंत्र है।

एकीकृत परिपथ निर्माण में एकल नक़्क़ाशी उपकरण की उत्पादन क्षमता की मांग में वृद्धि के साथ, एकल नक़्क़ाशी मशीन की प्रतिक्रिया गुहाओं की संख्या कम से ज़्यादा की प्रवृत्ति दिखाती है। 1990 के दशक में, टोक्यो इलेक्ट्रॉन ने पहली बार एक ही प्लेटफ़ॉर्म पर कई रिएक्टरों के साथ यूनिटी सीरीज़ लॉन्च की, टेलियस, समानांतर कक्ष संरचना वाली दुनिया की पहली मशीन, और 2010 के दशक में 6/8 गुहाओं के साथ टैक्रास। टोक्यो इलेक्ट्रॉन की नवीनतम एपिसोड श्रृंखला 12 गुहाओं से सुसज्जित हो सकती है, जो नक़्क़ाशी उपकरण की अंतरिक्ष दक्षता में बहुत सुधार करती है और फ़ैब्स को उत्पादन का विस्तार करने के लिए अधिक जगह देती है।

उत्पादन क्षमता बढ़ाने के लिए फैब के लिए कई नक़्क़ाशी रिएक्टरों के साथ नक़्क़ाशी उपकरण आवश्यक है। क्योंकि एक मशीन में कक्षों की संख्या जितनी अधिक होती है, एकल कक्ष के लिए औसतन स्थान उतना ही छोटा होता है। फैब शुद्धिकरण संयंत्र के रखरखाव के लिए बहुत अधिक लागत की आवश्यकता होती है, जिससे एकल उपकरण द्वारा घेरे गए स्थान को कम किया जा सकता है, प्रति इकाई क्षेत्र में शुद्धिकरण संयंत्र की वेफर उत्पादन क्षमता को प्रभावी ढंग से बढ़ाया जा सकता है, और एकल वेफर को आवंटित फैब के मूल्यह्रास और रखरखाव लागत को कम किया जा सकता है। प्रतिक्रिया दर धीमी होती है, और प्रति इकाई समय में वेफर आउटपुट वेफर (वेफर प्रति घंटा) (ढांकता हुआ नक़्क़ाशी उपकरण) की तुलना में कम होता है, जो अल्ट्रा-मल्टी-कैविटी संरचना को अपनाने के लिए अधिक इच्छुक होता है।